Установка плазменной обработки низкого
давления для производственных нужд
Режим работы: ручной или автоматический
Размер образцов: до 225 х 275 мм
Частота генератора плазмы: 20 - 100 кГц
Мощность: до 300 Вт
Размер установки: 700 x 680 x 550 мм
Материал рабочей камеры: алюминий
или кварц
Габаритные размеры камеры:
250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø200 x 250 мм (Д), кварц;
Вакуумный насос:
Скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Газовые линии:
Число газовых линий: стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий. Разъем
для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска и продувки: азот, воздух, CDA
разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления: Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления:
атм. - 1х10-3 Торр
Питание: 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Дополнительные опции:
Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;
Гарантия: до 5 лет